NI PXIマイクロマシン（MEMS）テストシステム

ナショナルインスツルメンツは、検証、特性評価、および生産環境で使用される半導体テストシステムを設計するための製品を豊富に取り揃えています。PXIプラットフォームは、小型テストシステムで、モジュール式計測器に高度なタイミング/同期テクノロジを組み合わせたもので、DC～6.6 GHzの計測が可能です。

NI PXIマイクロマシン（MEMS）テストシステムに含まれる計測モジュールによって、MEMS加速度計、ジャイロスコープ、マイクロホンの完全な特性評価を行えます。システムに含まれるソースメジャーユニット（SMU）は一般的なDCパラメータ計測（解放/短絡、リークテスト）を行い、高確度のデータ集録モジュールは広いダイナミックレンジの高確度な音響/振動計測を行い、高速デジタルI/Oは一般的な通信プロトコル（SPI、I2C、JTAG）でMEMSデバイスに接続し、スイッチモジュールはDC計測器を複数のテストポイントにルーティングします。

PXI MEMSテストシステムソリューションには、解放/短絡、スタンバイ電流、リファレンスIDD、正負の導通テスト、リーク電流、入出力論理しきい値、ダイナミック計測といったMEMSデバイスの一般的な計測を行うのに必要な機器が含まれています。NI LabVIEWソフトウェアと組み合わせれば、このソリューションはシステムを迅速にカスタマイズして、MEMSデバイスの特性評価に必要な専門的な計測を行うことができます。設計の特性評価に欠かせない一般的な計測を行うためのサンプルプログラムはあらかじめNIのシステムエンジニアによって作成されているため、すばやく計測を開始することができます。

製品関連情報

関連情報

• MEMS加速度計用の効率の良いテストシステムの構築（英語）
• 入力リークテストの技術詳細（IIL、IIH）（英語）
• 入力電圧しきい値（VIH、VIL）テストの技術詳細（英語）
• 出力短絡回路テストの技術詳細（IOSH、IOSL）（英語）
• 出力電圧レベルテストの技術詳細（VOH、VOL）（英語）
• 消費電力テストの技術詳細（IDD、IDDQ）